常州大成工业气体有限公司
Changzhou Dacheng Industrial Gas Co., Ltd
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产品中心
分类:三氟化氮
卖家:常州大成工业气体有限公司
地址:常州市金坛区龙湖路33号
咨询服务热线:
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三氟化氮 (NF3)
项目名称
纯度指标(%)
三氟化氮
≥99.99
杂质含量(ppm)
氮气(N2)
≤5
氧气+氩气(O2+Ar)
≤3
二氧化碳(CO2)
一氧化碳(CO)
≤1
四氟化碳(CF4)
≤40
水(H2O)
六氟化硫(SF6)
氟化氢(HF)
氧化亚氮(N2O)
包装:采用44L、47L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。
用途:NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅的蚀刻,采用NF3和CF4+O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染。
理化性质: 在常温常压下 , 三氟化氮为无色、无臭、性质稳定的液化气体,高纯三氟化氮几乎没有气味,它是一种热力学稳定的氧化剂,大约在 350 ℃左右可离解成为二氟化氮和氟气,故其反应性相似于氟。
注意事项:
1.在70℃以下NF3气体对普通金属是不腐蚀的,因此钢、铜、镍、铝和不锈钢在70℃以下均可用作包装材料。用钢瓶和铝合金瓶充装,对气瓶每两年要检验一次。按有毒高压液化气体规定运输,国外规定可以用汽车、火车运输,不能用飞机运输。气瓶充装系数不大于0.01。
2.储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、还原剂、食用化学品分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。