常州大成工业气体有限公司
Changzhou Dacheng Industrial Gas Co., Ltd
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分类:六氟化钨
卖家:常州大成工业气体有限公司
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六氟化钨 (WF6)
项目名称
纯度指标(%)
六氟化钨
≥99.999
杂质含量(ppm)
二氧化碳(CO2)
≤0.5
氮气(N2)
≤1
氧气+氩气(O2+Ar)
一氧化碳(CO)
四氟化碳(CF4)
三氟化氮(NF3)
四氟化硅 (SiF4)
氟化氢(HF)
≤5
金属离子(Metals)
≤1.5
包装:采用40L、44L钢瓶充装,也可根据客户需要,分装到4-10L的气瓶中。
用途:在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料,特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层,可用于X-射线的发射电极。此外,WF6在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。
理化性质: 能与许多物质发生化学反应,遇潮湿、空气或水分解,散发剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。腐蚀性很强,能侵蚀几乎所有的金属,能迅速腐蚀湿的玻璃。
注意事项:
一、泄漏应急处理:迅速撤离泄漏污染区人员至安全区,禁止无关人员进入污染区,应急处理人员戴正压自给式呼吸器,穿厂商特别推荐的化学防护服(完全隔离)。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散),但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。勿使水进入包装容器内,抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用,且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。
二、防护措施:
1、呼吸系统防护:可能接触毒物时,必须佩戴防毒面具。
2、眼睛防护:戴安全防护眼镜。
3、身体防护:穿胶布防毒服。
4、手防护:戴防化学品手套。
三、急救措施
1、皮肤接触:脱去污染的衣着,用流动清水冲洗。在灼伤处涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水。就医。
2、眼睛接触:立即翻开上下眼睑,立即用大量流动清水彻底冲洗至少15分钟。就医。
3、吸入:脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时,立即进行人工呼吸。立即就医。
4、食入:误服者用水漱口,饮牛奶或蛋清,立即就医。
5、灭火方法:泡沫、二氧化碳、干粉。